什么是質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍？

      質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。

      MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于*低值(0.1 MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于*高值(0.3MPa)，有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。

      用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。 

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